코팅 Biz / 세정 & Facility System

정밀 세정의 개념

반도체 / Display / Solar Cell / LED 등 생산 공정에서 발생한 각종 parts 의 미세한 오염 물질을 제거하는 기술( 부품에 적합한 약품으로 세정,하는 기술 및 A급에 준하는 수준의 재생/복원 기술 )

정밀 세정의 고객 Needs

  • 선폭 미세화에 따른 부품별 정밀 세정 기술
  • Particle Source가 되는 물질, 이온 오염원 등의 제거
  • 부품 모재 표면 상태 변화의 최소화 및 LIFE-TIME 복원을 위한 재생 기술

적용 분야

  • Y2O3 Parts , ESC , SI , SIC , SUS , Al , Ceramic

Quartz : Poly-Sl Cleaning

200,300mm ESC Cleaning Solution

Vacuum ESC Cleaning Solution

CU Cleaning

불산 대체제 Chemical

Electrolytic polishing Cleaning

Turbo molecular pump Cleaning

Ceramic Cleaning

Total Cleaning Solution

사용 공정별 parts에 맞는 특수 세정으로 부품 복원 제공

Ceramic

  • 세정 전
  • 세정 후

Quartz

  • 세정 전
  • 세정 후

SCI

  • 세정 전
  • 세정 후

Anodizing

  • 세정 전
  • 세정 후

배관제품

  • 세정 전
  • 세정 후

SUS조립

  • 세정 전
  • 세정 후

SUS Plate

  • 세정 전
  • 세정 후

AL 제품

  • 세정 전
  • 세정 후

SUS Shield

  • 세정 전
  • 세정 후

APS 용사 코팅

  • 목재 :  모재의 종류에 구애 받지 않고 적용 할 수 있어 목적하는 제품을 다양하게 선정 할 수 있고 피막 형성 속도가 빠르기 때문에 두꺼운 피막의 제작이 가능하여 기능 재료로서 사용 할 수 있는 여러가지 장점이 있음
  • 내용 : 열원에 의해 용사 피막을 용융 하여, 압축 공기에 의해 가속된 미세한 입자가 모재 표면이 부착 및 적층 하는 코팅 작업임.
    세라믹 피막을 강화하는 결합층을 형성 하기 위한 목적과 모재의 내식성, 내마모성, 내열성 및 내고온산화성 등을 향상하기 위한 표면 개선 등의 목적으로 사용하고 있음

< 이미지를 클릭하면 확대하여 보실 수 있습니다. >

Plasma Spray Coating - Mechanism

코팅재를 사용하여 재료 표면에 충돌시켜 열 손실로 인한 코팅재의 수축 및 고체화하여 코팅재와 모재간의 물리적인 계면 결합으로 코팅을 진행

< 이미지를 클릭하면 확대하여 보실 수 있습니다. >